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| UWR (실리콘프리) |
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- 분류 : 계측센서 > 로드셀
- 제조사 : UNIPULSE
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반도체 제조 장치 통합에 최적!
실리콘 프리 로드셀
반도체 제조 현장에서는 실리콘 수지에서 발생하는 실록산을 발생하지 않는 기기가 필수입니다.
UWR은 빔형 로드셀입니다.
실리콘 웨이퍼 주변에서의 용도에 고려해 염소 가스가 발생하지 않는 테프론 시스 케이블을 사용하고 있습니다.
사양
| 형식 |
UWR-10N |
| 정격 용량 |
10 N |
| 정격 출력 |
약 0.5 mV/V |
| 허용 과부하 |
300% RO |
| 제로 밸런스 |
±10% RO |
| 비선형성 |
0.03% RO |
| 히스테리시스 |
0.03% RO |
| 반복성 |
0.02% RO |
| 보상 온도 범위 |
0 ~ +50℃ |
| 허용 온도 범위 |
−10 ~ +70℃ |
| 영점의 온도 영향 |
0.5% RO/10℃ |
| 출력의 온도 영향 |
0.2% RO/10℃ |
| 입력 단자간 저항 |
약 1000 Ω |
| 출력 단자간 저항 |
약 1000 Ω |
| 권장인가 전압 |
5V |
| 절연 저항(DC 50 V) |
1000MΩ 이상 |
| 케이블 |
φ2 4심 실드 테플론 시스 케이블 3 m 선단 버드나무선 |
정격 부하에서의
처짐 |
0.04mm |
| 고유 진동수 |
2.5 kHz |
| 무게 |
약 40 g (케이블 포함하지 않고) |
| 로드셀 재질 |
알루미늄 합금 |
사용예・배선도
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