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| PS-IA |
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- 분류 : 계측센서 > 비접촉식변위센서
- 제조사 : UNIPULSE
- 접촉식/비접촉식 : 비접촉식
- 정밀도 : 0.05%
- 분해능 : 1nm,10nm
- 정격출력 : 0~10VDC
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제품 개요
PS-IA는 독자적인 기술에 의한 정전용량 방식을 채용해, 고안정·고분해능·범용성을 실현한 초정밀 비접촉 변위계입니다. 변위·진동·형상·위치 검출 등 폭넓은 분야에 이용되어 코스트 퍼포먼스를 추구한 범용성 변위계로서 높은 평가를 얻고 있습니다.
또한 지구 환경의 영향을 고려하여 어느 제품도 무연 RoHS2 지령에 대응하고 있습니다.
연구개발 분야에서 반도체 관련 장치·전자기기로의 임베디드 등, 응용성이 있는 고성능 툴로서 많은 실적을 거듭하고 있습니다.
특주 프로브 대응 예
위는 예입니다. 용도에 따른 특주 대응합니다.
특징
DC 24V 또는 AC 100V에서 동작하며 출력 제로 리셋 기능, NEAR/FAR LED 표시기, BNC 아날로그 출력이 붙은 싱글 채널 앰프입니다. 컴팩트하면서 다기능 시스템이며, 연구 개발 용도에서 각종 장치로의 통합 등 다양한 용도로 사용할 수 있습니다.
- 표준 측정 범위 30 ~ 5000 μm의 광범위한 라인업
- 도체이면 재질에 따라 감도가 변하지 않는다.
- 표면 거칠기의 영향을 받지 않음
- 높은 직선성：±0.05％ 이하
- 저잡음: 0.002% FS(rms) 이하
애플리케이션 예
측정 원리
PS 센서는 아래 그림과 같이 평행 평판 커패시터의 원리를 기반으로 합니다. 중심 전극과 타겟 사이의 정전 용량을 C, 프로브와 타겟 사이의 유도율을 ε, 거리를 g, 중심 전극 면적을 A로 하면 그 관계는
의 계산식으로 나타낼 수 있습니다. 이것을 아래 그림과 같은 교류 정전류원 구동을 행함으로써, 출력 전압은
그리고 출력은 측정 갭에 비례합니다.
PS 센서에서는, 가드 전극을 중심 전극과 동 전위가 되도록 구동하는 것으로, 중심 전극 부분에서 평행 전장을 만들어, 높은 직선성을 얻고 있습니다.
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