제품 개요
PS 센서는 독자적인 기술에 의한 정전용량 방식을 채용해, 고안정·고분해능·범용성을 실현한 초정밀 비접촉 변위계입니다. 변위·진동·형상·위치 검출 등 폭넓은 분야에 이용되어 코스트 퍼포먼스를 추구한 범용성 변위계로서 높은 평가를 얻고 있습니다. 또한 지구 환경의 영향을 고려하여 어느 제품도 무연 RoHS 지령에 대응하고 있습니다. PS-III 시리즈는, 복수 채널을 1대의 케이스에 정리해, AC 100 V로 동작해, 각종 기능을 담은 PS 센서 시리즈의 결정판입니다. 연구 개발 용도뿐만 아니라 시스템에 통합도 가능합니다.
측정 원리
PS 센서는 아래 그림과 같이 평행 평판 커패시터의 원리를 기반으로 합니다. 중심 전극과 타겟 사이의 정전 용량을 C, 프로브와 타겟 사이의 유도율을 ε, 거리를 g, 중심 전극 면적을 A로 하면 그 관계는
의 계산식으로 나타낼 수 있습니다. 이것을 아래 그림과 같은 교류 정전류원 구동을 행함으로써, 출력 전압은
그리고 출력은 측정 갭에 비례합니다.
PS 센서에서는, 가드 전극을 중심 전극과 동 전위가 되도록 구동하는 것으로, 중심 전극 부분에서 평행 전장을 만들어, 높은 직선성을 얻고 있습니다.
응용사례
사양
앰프 사양|표준 프로브 사양|외형 치수|PS-Ⅲ의 형식
원터치로 출력을 제로로 하는 리셋 기능, NEAR/FAR LED 표시기, 멀티 채널 동작 기능 등, 이 1대로 다양한 용도에 응용이 가능합니다.
앰프 사양 |
형식 |
PS-III |
기본 출력 전압 범위 |
0 ~ 10 V |
출력 단자 |
BNC 커넥터 |
응답 주파수 특성(≥-3 dB) |
DC ~ 1 kHz |
사용온도범위 |
10 ~ 40℃ |
전원 |
AC 100 ~ 240 V ±10% 50/60 Hz | |