광섬유 센서를 복수개 동일 랙에 장착 한 멀티 채널 변위계
광섬유를 통해 측정 대상물에 빛을 조사하여 그 반사광을 검출함으로써 변위 및 진동의 변화를 고속으로 비접촉 할 수있는 장치입니다.
빛을 이용하여 측정하기 때문에 측정 대상물에 전혀 부하를주지 않고, 또한 자기장과 전기장의 영향을받을 수 없습니다.
멀티 채널 화에 따라 다점 · 다축 측정의 단순화를 도모하는 동시에 소형화 및 1 채널 당 비용 절감을 실현 한 범용적인 계측 시스템입니다.
특징
■ 완전 비접촉으로 진동 변위 표면 상태 등의 측정에 폭넓게 사용할 수 있습니다
■ 용도, 위치 정밀도에 따라 프로브를 선택할 수있는 플러그인 방식을 채용하고 있습니다
■ 전자 노이즈에 강하고, 미소 명소 측정 가능
■ 저렴한 가격으로 유지 보수가 쉽고 빠르게 할 수 있습니다
사양
| 앰프 유닛 |
| 응답 성 |
100Hz, 1K, 10K, 100KHz |
| 아날로그 출력 |
0 ~ 10VPC |
| 전원 전압 |
AC 100V 50 / 60Hz |
| 센서 모듈 |
| 광원 |
텅스텐 램프 |
| 프로브 길이 |
1m |
| 맞춤 지원 |
벤딩 고온 대응 등
|
응용 프로그램
디스크 런 아웃 측정 :
테이프 진동 측정 :
회전 진동 진동 모드 측정 :
다양한 장치에 임베디드 측정 :
PZT 등의 진동 측정 :
웨이퍼 상처 검색 :
위치 결정 제어 :
■ 자동 위치 센서로서의 응용
■ 초음파 용접기 칩의 진동 측정
측정 원리
측정 대상면에 광섬유를 이용하여 빛을 투사하는 빛 반사 방식을 채용하고 있습니다. 투사 된 빛이 반사되어 같은 프로브를 통해 전기 신호로 변환됩니다. 광량은 반 사면에서 섬유 단면까지의 거리와 함께 그림 (C)처럼 변합니다. 사용하는 프로브에 따라 각각 일정한 변위 대 출력 특성을 얻을 수 있습니다. 특성은 어떤 프로브도 전면 슬로프와 백 슬로프라는 선형 범위 및 광학 피크라고 불리는 부분을 가지고 있습니다. 프런트 슬로프는 미세한 변위를 고감도로 측정하는 경우에 적합하며, 백 경사가 비교적 큰 변위를 측정하는 경우에 사용합니다. 광학 피크는 일정한 변위량을 무시하고 측정 대상면의 표면 상태 및 결함 검출을 할 경우에 사용됩니다. 더 높은 공중 해상도와 낮은 F 수치 등을 대물 렌즈를 병용 초점을 맺게하여 위치 감지, 원거리 측정 등에도 응용할 수 있습니다.
