정확한 진동 변위 계측이 가능
광섬유를 통해 측정 대상물에 빛을 조사하여 그 반사광을 검출함으로써 변위 및 진동의 변화를 고속으로 비접촉 할 수있는 장치입니다.
빛을 이용하여 측정하기 때문에 측정 대상물에 전혀 부하를주지 않고, 또한 자기장과 전기장의 영향을받을 수 없습니다.
또한 교환식 센서 모듈은 요구하는 감도 측정 범위 · 주파수 · 스폿 직경에 따라 교환 선택할 수 있습니다.
소형화와 간편성을 추구 한 「포토 마이크론 PM-E "는 연구 개발 및 각종 산업 분야에서의 폭 넓은 요구에 부응 제품입니다.
특징
■ 완전 비접촉으로 진동 변위 표면 상태 등의 측정에 폭넓게 사용할 수 있습니다
■ 용도, 위치 정밀도에 따라 프로브를 선택할 수있는 플러그인 방식을 채용하고 있습니다
■ 전자 노이즈에 강하고, 미소 명소 측정 가능
■ 저렴한 가격으로 유지 보수가 쉽고 빠르게 할 수 있습니다
사양
| 앰프 유닛 |
| 응답 성 |
100Hz, 1K, 10K, 100KHz 전환 |
| 표시 |
3 1/2 자리 디지털 전압 표시 |
| 아날로그 출력 |
± 10VDC |
| 전원 전압 |
AC 100V 50 / 60Hz |
| 외형 치수 |
87W × 140H × 306D |
| 플러그인 모듈 |
| 광원 |
텅스텐 램프 |
| 섬유 길이 |
1m (표준) |
| 섬유 번들 |
랜덤 형 하프 형 동심 형 |
| 센서 모듈 특성 표 |
| 센서 모듈 No. |
PM-05E |
PM-15E |
PM-30E PM |
PM-30HE |
| 프로브 외경 (mm) |
0.5 |
1.5 |
3.0 |
3.0 |
| 프로브 스폿 직경 (mm) |
0.25 |
1.1 |
2.5 |
2.5 |
| (전면 슬로프 특성) |
| 기본 감도 (μm / mV) |
0.012 |
0.014 |
0.015 |
0.016 |
리니어리티 (측정)
범위 (μm) |
30 |
70 |
80 |
800 |
| 프로브 세트 간격 (μm) |
50 |
80 |
85 |
1000 |
| (백 슬로프 특성) |
| 기본 감도 (μm / mV) |
0.08 |
0.3 |
0.7 |
0.8 |
리니어리티 (측정)
범위 (μm) |
250 |
700 |
2000 |
3000 |
| 프로브 세트 간격 (μm) |
450 |
1100 |
2500 |
7000 |
| 광학 피크 위치 (μm) |
250 |
350 |
500 |
4000 |
※ 상기 특성은 평균적인 수치입니다. 프로브의 고유 특성에 따라 차이가 발생할 수 있습니다.
| 프로브 도면 |
| 섬유 길이 UP 첨단 벤딩 등 맞춤 섬유 프로브도 제작 가능합니다. 상담하십시오. |
 |
|
PM-05E |
PM-15E |
PM-30E, HE |
| φA |
0.5 |
1.5 |
3.0 |
| φB |
0.25 |
1.1 |
2.5 |
응용 프로그램
디스크 런 아웃 측정 :
테이프 진동 측정 :
회전 진동 진동 모드 측정 :
다양한 장치에 임베디드 측정 :
PZT 등의 진동 측정 :
웨이퍼 상처 검색 :
위치 결정 제어 :
측정 원리
포토 마이크론 PM-E는 광섬유를 통해 측정 대상물에 빛을 조사하여 반사광을 검출하여 물체의 변위를 비접촉으로 간편하게 측정 할 수있는 장치입니다. 측정 대상물에서 반사 광량 측정 대상물과 광섬유 프로브 단면 사이의 거리 (갭)에 대해 아래와 같이 변경됩니다. 이 때 그림에서 Ⓑ (전면 슬로프) 및 Ⓓ (백 슬로프)의 영역에서는 반사광 간격에 대해 거의 직선적으로 변화하기 때문에,이 영역을 변위 측정에 이용합니다.
1 대의 장치로 2 개의 변위 검출 특성을 가지므로 높은 해상도를 필요로하는 측정에는 전면 슬로프를 넓은 측정 범위를 필요로하는 경우에는 백 슬로프를 이용하실 수 있습니다. 또한 Ⓐ (광학 피크 위치)은 변위에 대한 감도가 가장 낮기 때문에 측정 대상물의 표면 상태 및 결함 등의 검출에 사용할 수 있습니다.
