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UWR (실록산프리)
  • 분류 : 계측센서 > 로드셀
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 0.03%
  • 허용과부하 : 300%

반도체 제조 장치 통합에 최적!
실리콘 프리 로드셀

반도체 제조 현장에서는 실리콘 수지에서 발생하는 실록산을 발생하지 않는 기기가 필수입니다.
UWR은 빔형 로드셀입니다.
실리콘 웨이퍼 주변에서의 용도에 고려해 염소 가스가 발생하지 않는 테프론 시스 케이블을 사용하고 있습니다.

사양

형식 UWR-10N
정격 용량 10 N
정격 출력 약 0.5 mV/V
허용 과부하 300% RO
제로 밸런스 ±10% RO
비선형성 0.03% RO
히스테리시스 0.03% RO
반복성 0.02% RO
보상 온도 범위 0 ~ +50℃
허용 온도 범위 −10 ~ +70℃
영점의 온도 영향 0.5% RO/10℃
출력의 온도 영향 0.2% RO/10℃
입력 단자간 저항 약 1000 Ω
출력 단자간 저항 약 1000 Ω
권장인가 전압 5V
절연 저항(DC 50 V) 1000MΩ 이상
케이블 φ2 4심 실드 테플론 시스 케이블 3 m
정격 부하에서의
처짐
0.04mm
고유 진동수 2.5 kHz
무게 약 40 g (케이블 포함하지 않고)
로드셀 재질 알루미늄 합금
사용예 및 결선도

사용예
배선도

외부 치수

외부 치수

 
374ea 제품이 검색되었습니다.

1

IAC-CM-U (컨디션 모니터링 전압)
  • 제조사 : Micromega
  • 정밀도 : 0.5%
  • 방수등급 : IP67
  • 정격출력 : VOLTAGE
  • 응답성 : 24kHz

2

IAC-CM-I (컨디션 모니터링 전류)
  • 제조사 : Micromega
  • 정밀도 : 0.5%
  • 방수등급 : IP67
  • 정격출력 : 4~20mA
  • 응답성 : 24kHz

3

UTMⅢ-(R)(H) 고속회전 엔코더
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 0.03%
  • 허용과부하 : 500%
  • 정격출력 : ±10VDC,DIGITAL
  • 응답성 : 5KHz

4

UTMⅢ 시리즈
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 0.03%
  • 허용과부하 : 500%
  • 정격출력 : ±10VDC,DIGITAL
  • 응답성 : 5KHz

5

ULS (소형 압축형)
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 0.5%
  • 허용과부하 : 150%

6

UWP (와셔형)
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 2%
  • 허용과부하 : 300%

7

UMA-500-C (와전류.정전용량)
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 접촉식/비접촉식 : 비접촉식
  • 분해능 : 1μm
  • 정격출력 : DIGITAL,VOLTAGE
  • A/D속도 (times/sec) : 5000

8

DT시리즈
  • 제조사 : Magnescale
  • 정밀도 : 0.1%
  • 분해능 : 5μm

9

UWR (실록산프리)
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 0.03%
  • 허용과부하 : 300%

10

CET5000 Analog
  • 제조사 : TSM

11

IAC-HiRes-U (높은 분해능 전압)
  • 제조사 : Micromega
  • 정밀도 : 0.5%
  • 방수등급 : IP67
  • 정격출력 : VOLTAGE
  • 응답성 : 1KHz

12

TLA200
  • 제조사 : TSM
  • 방수등급 : IP68
  • 정격출력 : 0~10VDC,4~20mA

13

TLP300
  • 제조사 : TSM
  • 방수등급 : IP67
  • 정격출력 : 0~10VDC,4~20mA

14

GIM500R
  • 제조사 : Baumer
  • 방수등급 : IP69
  • 정격출력 : DIGITAL,VOLTAGE,CURR...

15

GIM140
  • 제조사 : Baumer
  • 방수등급 : IP67,IP69
  • 정격출력 : VOLTAGE,CURRENT

16

TILT-33A
  • 제조사 : CTi SENSOR
  • 방수등급 : IP67
  • 분해능 : 0.005°
  • 정격출력 : DIGITAL

17

HS35F
  • 제조사 : Baumer

18

EIL580P-SQ
  • 제조사 : Baumer

19

ITD 01 B14
  • 제조사 : Baumer

20

ITD 01 A 4 Y 1
  • 제조사 : Baumer
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