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PM-E
  • 분류 : 계측센서 > 비접촉식변위센서
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 분해능 : 20nm,
  • 정격출력 : ±10VDC
  • 응답성 : 100KHz

PM-E

광섬유 방식 진동 변위계
 
 정확한 진동 변위 계측이 가능
광섬유를 통해 측정 대상물에 빛을 조사하여 그 반사광을 검출함으로써 변위 및 진동의 변화를 고속으로 비접촉 할 수있는 장치입니다.
빛을 이용하여 측정하기 때문에 측정 대상물에 전혀 부하를주지 않고, 또한 자기장과 전기장의 영향을받을 수 없습니다.
또한 교환식 센서 모듈은 요구하는 감도 측정 범위 · 주파수 · 스폿 직경에 따라 교환 선택할 수 있습니다.
소형화와 간편성을 추구 한 「포토 마이크론 PM-E "는 연구 개발 및 각종 산업 분야에서의 폭 넓은 요구에 부응 제품입니다.
 
 특징
■ 완전 비접촉으로 진동 변위 표면 상태 등의 측정에 폭넓게 사용할 수 있습니다
■ 용도, 위치 정밀도에 따라 프로브를 선택할 수있는 플러그인 방식을 채용하고 있습니다
■ 전자 노이즈에 강하고, 미소 명소 측정 가능
■ 저렴한 가격으로 유지 보수가 쉽고 빠르게 할 수 있습니다

 사양
앰프 유닛
응답 성 100Hz, 1K, 10K, 100KHz 전환
표시 3 1/2 자리 디지털 전압 표시
아날로그 출력 ± 10VDC
전원 전압 AC 100V 50 / 60Hz
외형 치수 87W × 140H × 306D
 
플러그인 모듈
광원 텅스텐 램프
섬유 길이 1m (표준)
섬유 번들 랜덤 형 하프 형 동심 형
 
센서 모듈 특성 표
센서 모듈 No. PM-05E PM-15E PM-30E PM PM-30HE
프로브 외경 (mm) 0.5 1.5 3.0 3.0
프로브 스폿 직경 (mm) 0.25 1.1 2.5 2.5
(전면 슬로프 특성)
기본 감도 (μm / mV) 0.012 0.014 0.015 0.016
리니어리티 (측정)
범위 (μm)
30 70 80 800
프로브 세트 간격 (μm) 50 80 85 1000
(백 슬로프 특성)
기본 감도 (μm / mV) 0.08 0.3 0.7 0.8
리니어리티 (측정)
범위 (μm)
250 700 2000 3000
프로브 세트 간격 (μm) 450 1100 2500 7000
광학 피크 위치 (μm) 250 350 500 4000
 
※ 상기 특성은 평균적인 수치입니다. 프로브의 고유 특성에 따라 차이가 발생할 수 있습니다.

프로브 도면
섬유 길이 UP 첨단 벤딩 등 맞춤 섬유 프로브도 제작 가능합니다. 상담하십시오.
PM-05E PM-15E PM-30E, HE
φA 0.5 1.5 3.0
φB 0.25 1.1 2.5
 

응용 프로그램

디스크 런 아웃 측정 :
디스크 런 아웃 측정 :
테이프 진동 측정 :
테이프 진동 측정 :
회전 진동 진동 모드 측정 :
회전 진동 진동 모드 측정 :
다양한 장치에 임베디드 측정 :
다양한 장치에 임베디드 측정 :
PZT 등의 진동 측정 :
PZT 등의 진동 측정 :
웨이퍼 상처 검색 :
웨이퍼 상처 검색 :
위치 결정 제어 :
위치 결정 제어 :

측정 원리

포토 마이크론 PM-E는 광섬유를 통해 측정 대상물에 빛을 조사하여 반사광을 검출하여 물체의 변위를 비접촉으로 간편하게 측정 할 수있는 장치입니다. 측정 대상물에서 반사 광량 측정 대상물과 광섬유 프로브 단면 사이의 거리 (갭)에 대해 아래와 같이 변경됩니다. 이 때 그림에서 Ⓑ (전면 슬로프) 및 Ⓓ (백 슬로프)의 영역에서는 반사광 간격에 대해 거의 직선적으로 변화하기 때문에,이 영역을 변위 측정에 이용합니다.
1 대의 장치로 2 개의 변위 검출 특성을 가지므로 높은 해상도를 필요로하는 측정에는 전면 슬로프를 넓은 측정 범위를 필요로하는 경우에는 백 슬로프를 이용하실 수 있습니다. 또한 Ⓐ (광학 피크 위치)은 변위에 대한 감도가 가장 낮기 때문에 측정 대상물의 표면 상태 및 결함 등의 검출에 사용할 수 있습니다.
측정 원리
 
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ATOPS
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 분해능 : 20nm,
  • 정격출력 : ±10VDC
  • 응답성 : 100KHz

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PM-S
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 분해능 : 20nm
  • 정격출력 : ±10VDC
  • 응답성 : 100KHz

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PM-E
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 분해능 : 20nm,
  • 정격출력 : ±10VDC
  • 응답성 : 100KHz
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