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PS-IA
  • 분류 : 계측센서 > 비접촉식변위센서
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 접촉식/비접촉식 : 비접촉식
  • 정밀도 : 0.05%
  • 분해능 : 1nm,10nm,
  • 정격출력 : 0~10VDC

PS 센서
 

제품 개요

높은 안정성 · 고분해능 · 정전 용량 형 비접촉 변위계

PS 센서는 자체 기술에 의한 정전 용량 방식을 채용하여 높은 안정성 · 고분해능 · 범용성을 실현 한 초정밀 비접촉 변위계입니다. 변위 · 진동 · 형상 · 위치 검출 등 폭 넓은 분야에 이용되어 가격 대비 성능을 추구 한 범용성 변위계로 높은 평가를 얻고 있습니다.
또한 지구 환경의 영향을 고려하여 어느 제품도 무연 RoHS 지령에 대응하고 있습니다.
연구 개발 분야에서 반도체 관련 장비 · 전자 기기에 내장 등 응용 성있는 고성능 도구로 많은 실적을 거듭하고 있습니다.
PS-ⅠA
 

정전 용량 형 비접촉 변위계 PS1A 제품 소개 동영상


특징

AC100V 또는 DC24V로 동작하며, 출력 제로 리셋 기능, NEAR / FAR LED 지시자, BNC 아날로그 출력이 붙은 싱글 채널 앰프입니다. 소형이면서 다양한 기능이며, 연구 개발 용도에서 각종 장비에 내장 등 다양한 용도로 사용하실 수 있습니다.
■ 표준 측정 범위 30μm ~ 1000μm의 폭 넓은 라인업
■ 도체이면 재질에 따라 감도가 변하지 않는
■ 표면 거칠기의 영향을받지 않는
■ 높은 선형성 : ± 0.05 % 이하
■ 저소음 : 0.002 % / FS (rms) 이하

응용 예

응용 예

측정 원리

PS 센서는 오른쪽 그림과 같이 평행 평판 콘덴서의 원리에 근거하고 있습니다. 중심 전극과 대상 사이의 정전 용량을 C 프로브와 대상 사이의 유도 율을 ε 거리를 g 중심 전극 면적을 A라고하면 그 관계는 계산식으로 나타낼 수 있습니다. 이것을 오른쪽 그림과 같이 교류 정전류 소스 구동함으로써 출력 전압은 옆집 출력은 측정 간격에 비례합니다. PS 센서는 가드 전극을 중심 전극과 동일한 전위가되도록 드라이브함으로써 중심 전극 부분에서 평행 전기장을 만들고, 높은 선형성을 얻고 있습니다.
식

식

원리 이미지
 

사양

원터치로 출력을 제로로 리셋 기능, NEAR / FAR LED 표시기 멀티 채널 동작 기능 등 이것 한대로 다양한 용도로 응용이 가능합니다.
모델 PS-IA
기본 출력 전압 범위 0 ~ 10V
출력 단자 BNC 커넥터
주파수 특성 DC ~ 1kHz
사용 온도 범위 10 ~ 40 ℃
전원 DC24V, 0.2A 또는
AC100V (AC 어댑터 사용)
외형 치수 110W × 30H × 162Dmm
무게 355g (본체 만)
 
프로브 내부에 전자 회로를 포함하지 않기 때문에 소형 프로브 할 수 있습니다. 진공 대응 등 특주 대응도 가능합니다.
모델 외경 (mm) 오프셋 (μm) 레인지 (μm) 분해능 (nmrms) 선형성 (%) 프로브 길이 케이블 길이
AX □□ -30 4 10 30 0.6 ± 0.05
5mm
10mm
30mm
표준 2m
AX □□ -50 10 50 1.0
AX □□ -100 10 100 2.0
AY □□ -50 6 10 50 1.0
AY □□ -100 10 100 2.0
AY □□ -250 25 250 5.0
AY □□ -500 50 500 10 ± 0.1
AZ □□ -500 12 50 500 10 ± 0.05
10mm
30mm
AZ □□ -1000 100 1000 20 ± 0.1
모델 구성 예
 
 
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1

PS-III
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 0.05%
  • 분해능 : 1nm,20nm,
  • 정격출력 : 0~10VDC

2

PS-IA
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 0.05%
  • 분해능 : 1nm,10nm,
  • 정격출력 : 0~10VDC

3

UMA-500
  • 제조사 : UNIPULSE
  • 정밀도 : 0.01%
  • 분해능 : 10nm,
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